低熱損電極精密加工設備
品牌：杭州厚物電子科技有限公司，型號：Innolas 200
專為電子和精密工程行業的高精度應用而設計。
主要用于材料微孔鉆孔、切割（布線）、結構化和空腔形成
加工尺寸為350 x 350 x 15 mm。
獨特激光運動技術確保切割質量
適合多種電子材料
加工材料
柔性電子
LTCC
硅片
鐵氧體
金屬
藍寶石
特點：
自主研發制造激光頭
高精度超快激光系統
自動攝像機校準
自動排氣系統
MES接口
自動視覺系統，
同軸觀測，實時監控
自動對焦
精確對準縮放、偏移
技術數據
激光器 |
波長 | 355nm |
脈寬 | 15ns |
功率 | 0.1-8W |
光束質量 | 1.1 |
頻率范圍 | 25~500kHz |
光斑 | 15μm |
基材厚度測量模塊 | 內置，測量厚度：20-400um |
冷卻系統 | 內置（實驗室環境友好） |
運動系統 
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模式 | 大理石平臺，十字運動模式（XYZ三向） |
主動式材料測量 | 內置接觸式傳感裝置 |
加工幅面 | 350mm×350mm×15mm |
重復精度 | ±1.8μm |
材料固定模式 | 納米級微孔陶瓷墊板吸附基材，幅面350mm×350mm |
光路及視覺模塊 
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模式 | 固定，無反射鏡，激光束直接進入振鏡 |
振鏡精度 | 0.25μm |
振鏡分辨率 | 0.1μm |
視覺系統 | 同心模式，實時觀測 |
視覺分辨率 | ±1.8μm |
柔性電極的快速制備 
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可加工材料 | LCP，PET，PI為介質的薄膜鍍層材料的電路快速制備 |
介質損傷 | ＜3um |
線寬線距 | Min15um/15um |
軟件 | 軟件兼備數據處理能力和操作設備能力 |